进口ALICAT  MW/MCW Whisper 系列 低压损质量流量计参数: 

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 500 slpm 满量程

精度(调零后标准条件下):±(0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度选配(调零后标准条件下):±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备

精度(双向流量型号) (调零后标准条件下):±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:负满量程到正满量程

重复性: ±0.2% F.S 

零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm

工作范围 / 量程可调比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1

很大可测流量: 128% F.S

典型响应时间: 10 毫秒(可调整) 

启动预热时间: < 1 秒

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