进口ALICAT  M 系列 数字式质量流量计参数: 

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程

产品性能： M 系列质量流量计

精度(调零后标准条件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)  

高精度选配(调零后标准条件下): ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)

高精度(选配)仅适用于量程为: 5SCCM ~ 500SLPM 的设备  

精度(双向流量型号):± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

(调零后标准条件下):F.S:负满量程到正满量程

重复性:± 0.2% F.S

零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm  

工作范围 / 量程可调比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1  

很大可测流量: 128% F.S    

典型响应时间: 10 毫秒(可调整)

启动预热时间: < 1 秒      

运行工况: M 系列质量流量计

标准工况 (STP)：25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)  

工作温度：−10 ~ +50 ºC

工作湿度范围 (非冷凝)：0 ～ 100    

内部很大工作压力(静压)：145 psig

设备允许通过的很大瞬时压差(入口压力－出口压力) ：75 psid    

很限压力：175 psig

对安装方式/方向的要求：无  

防护等级：IP40

材质：303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝

 

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