进口ALICAT  MS/MCS 系列耐腐蚀质量流量计参数: 

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程

精度(调零后标准条件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度选配(调零后标准条件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备

精度(双向流量型号)(调零后标准条件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:负满量程到正满量程

重复性: ±0.2% F.S 

零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm

工作范围 / 量程可调比: 1% ~ 100 F.S / 100:1

很大可测流量: 128% F.S 

典型响应时间 :10 毫秒(可调整)

启动预热时间 :< 1 秒

标准工况 (STP): 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换) 

工作温度: −10 ~ +50 ºC

工作湿度范围 (非冷凝) :0 ～ 100 

内部很大工作压力(静压) :145 psig 

 设备允许通过的很大瞬时压差 (入口压力－出口压力): 75 psid 

很限压力 175 psig 

对安装方式/方向的要求: 无 

防护等级: IP40 

材质 :标准采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根据特殊气体选用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene；

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