HY500动态校准仪技术参数：

稀释气流量范围：(0-10)LPM

校正气流量范围：(0-100)SCCM

流量控制准确度：±1%F.S

流量控制线性：±0.2%F.S

流量控制重复性：±0.2%F.S

稀释气体流量需求：10SLPM(0.1Mpa)

工作环境：温度:(5-35)°C，湿度:(20%-90%)RH

功率电源：<300VA.220VAC/50Hz

尺寸：19寸标准机箱

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