进口ALICAT  MCD/MCRD 双向质量流量控制器参数：

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程

精度(调零后标准条件下)：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注：该处 F.S.为双向满量程之和)

重复性： ± 0.2% F.S

零点漂移&满量程漂移： 0.02% F.S / ºC / Atm

工作范围 / 量程可调比： -100 ～ 100 F.S / 200:1

很大可控流量 ：102.4% F.S

典型响应时间： 100 毫秒(可调整)

启动预热时间： < 1 秒

标准工况： (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)

工作温度： −10 ~ +50 ºCelsius

工作湿度范围 (非冷凝)： 0 ~ 100

内部很大工作压力(静压)： 145 psig

很限压力： 175 psig

对安装方式/方向的要求： MCD 系列质量流量控制器 无 ；MCRD 系列质量流量控制器 阀门须垂直安装

阀门状态： 阀门常闭

防护等级： IP40

材质：MCD: 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 , 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻璃 MCRD: 303 & 302不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝, 416不锈钢, 镍, 硅, 玻璃

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