进口ALICAT  BASIS 质量流量控制器产品参数：

精度：1.5% Rdg + 0.5% F.S (NIST 可溯源)

重复性：0.5% Rdg

线性量程：1-100 sccm (BC-C0100)； 5-1000 sccm (BC-C1000)

气体：Air, Ar, CO2, N2, O2, N2O (通过 RS-485 切换气体)；He, H2亦可选。

通讯方式：RS-485

数字通讯、0-5 V

模拟信号 管道连接接口：1/8” NPT 母

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