型号

UPW-P

进水及出水

进水水质

纯水（电导率<20 μs/cm）

进水温度

5-40℃

进水压力

-

出水水质

超纯水

超纯水指标

电阻率 25℃

18.2 MΩ

电导率 25℃

0.055 μs/cm

流速

1.5-2 L/min

TOC

<10 ppb

颗粒物（≥0.22 μm）

<1 pc/ml

细菌

<1 cfu/ml