进口ALICAT AFS系列便携式气体流量校准仪技术参数：

1、性能

可用量程：较大0-50 slpm;很小0-5 sccm(欲了解所有量程，请参见零件编号标签)

可调比：200:1(流动空气);20:1(流动的其它气体或混合气体)

流量精度(NIST可溯源)：+/- 0.75%读数

标准控制器响应时间常数：5-10ms

无需预热时间

2、工作条件

兼容气体：98种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度：-10°C至+60°C

较大内部压力(静态)：45 psig(160 psia)

很大差压(进口至出口)：15 psid

耐受压力：175 psig(190 psia)

STP/NTP：用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)