进口ALICAT MB系列便携式气体质量流量计技术参数:
1、性能
可用量程:较大0-5000 slpm;较小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
可调比:200:1(MB系列)或者100:1(MBS系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:5-10ms
无需预热时间
2、工作条件
兼容气体:98(MB系列)或130(MBS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
很大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
很大差压(进口至出口):75 psid
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)