进口ALICAT MBQ系列便携式高压气体质量流量计技术参数：

1、性能：

可用量程：较大0-5000 slpm;较小0-10 sccm(欲了解常备量程，参见零件编号标签)

可调比：50:1

校准精度(NIST可溯源)：±2%满量程

可重复性：0.2%满量程

标准控制器响应时间常数：5-10ms

无需预热时间

2、工作条件：

兼容气体：98(MBQ系列)或130(MBQS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度：-10°C至+60°C

很大内部压力(静态)：305 psig(320 psia)

很大差压(进口至出口)：100 psid

耐受压力：400 psig(415 psia)

STP/NTP：用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)